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红外器件

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制冷短波红外InGaAs探测器

作者: 来源: 日期:2016/4/11 14:22:13 人气:0





产品介绍

我所研究的制冷短波红外InGaAs探测器在较高的工作温度具有较高的探测率、较高的信噪比、较低功耗、较长寿命;且近红外InGaAs外延材料具有较好的均匀性和稳定性,器件制备工艺过程与Si工艺兼容,材料与器件的抗辐照性能好;近红外InGaAs材料体系吸收层具有低的本底载流子浓度和高迁移率,有利于在近红外波段获得平滑的量子效率。

探测器在盲元、串音、集成TEC的金属管壳封装等方面取得了关键技术突破;截止波长为1.7μm的产品性能达到国内领先,主要指标达到国外同类产品的技术水平;截止波长为2.4μm的产品填补了国内空白。

该探测器组件由InGaAs芯片、读出电路及一个过渡电极板组合而成。光敏芯片采用正入射结构,光敏元为长条形结构,光敏元呈一字型排列,相邻光敏元的中心距为50μm,单个光敏元尺寸为50μm×500μm,管壳上按标准双列直插规则排列了30只引脚,侧面引出两只热电致冷器引线,满足焊接要求。组件内部的光学零件有2个,芯片和窗口。考虑到尽量减少杂散光的影响,组件的窗口离芯片的距离比较近,约为1.6mm。

主要指标

响应元数

单元、256×1元、512×1元、640×1元、1024×1元、320×256元

?

响应元尺寸μm2

50×500

光谱响应μm

0.9~1.7

峰值探测率cmHz1/2/W
? ? ? ? ??@20℃,1.55μm

3.0×1012

响应元非均匀性%

<5

盲元率%

≤1

动态范围dB

≥70

工作温度范围℃

-20~60

贮存温度范围℃

-40~70

外形尺寸/封装形式mm

≤75(L)×30(W)×15(H)

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主要应用

1-3μm红外探测技术在空间遥感领域有着重要的应用,由于很多物质在该波段具有独特的光谱特性,短波红外探测器在空间对地探测方面有着重要的作用,如了解资源分布、土壤水分监测、大气成分分析、农作物估产等。

在民用领域,主要用于扫描型短波红外成像系统(食品监测、医学影像、工业检测等)、微型近红外光谱仪(食品、水质、农产品、石油、矿产等检测)。

在科研方面,也可用于扫描型短波红外成像系统、微型近红外光谱仪等产品。



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